第十一届全国青年表面工程学术会议

143 / 2019-03-20 13:55:26

Ti/Mo梯度多层膜的强韧性研究

Plenary track > 摩擦、磨损与润滑

通过减小金属多层膜的单层厚度在获得高硬度的同时往往也牺牲了很多韧性，这种强韧性失调限制了高性能多层膜的发展和应用（如防护微动损伤）。为克服小尺度Ti/Mo多层膜韧性差的缺点，采用磁控溅射技术在钛合金基体上设计、制备了总厚度相同而单层厚度在膜厚方向上梯度变化的Ti/Mo梯度多层膜；借助透射电子显微镜表征了Ti/Mo梯度多层膜的剖面结构，并通过纳米压入及静态压入试验研究了Ti/Mo梯度多层膜的硬度和韧性。结果表明：Ti/Mo梯度多层膜的强韧性与单层厚度的变化梯度密切相关，合理的单层厚度梯度可使Ti/Mo梯度多层膜在不降低小尺度多层膜硬度的同时大幅改善其韧性。