Abstract Details
  1. Home
  2. Abstract List
  3. Abstract Details
111 / 2019-09-30 17:08:02
微孔金属化沉积工艺中粒子传输特性研究
微孔,长径比,气体压强,粒子传输
Plenary track > 薄膜设计、仿真与模拟
Draft Pending
都钱 / 合肥工业大学
王国栋 / 合肥工业大学
马儒坤 / 合肥工业大学
Important Date

  • Conference Date

    Nov 15

    2019

    to

    Nov 18

    2019

  • Nov 01 2019

    Draft paper submission deadline

  • Nov 18 2019

    Registration deadline

Organized By
浙江大学
Contact Information
Login to view full contact details
Previous Conferences