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128 / 2019-10-27 18:06:32
磁场对中频溅射阴极刻蚀作用机理研究
磁场,中频磁控溅射阴极,可移动圆柱磁铁
Plenary track > 薄膜技术应用与产业化
Draft Pending
何云鹏 / 东北大学
毕诗博 / 东北大学
张家乐 / 东北大学
飞孙 / 东北大学
磊王 / 东北大学
吕少波 / 中国科学院大连化学物理研究所
王瑞生 / 沈阳仪表科学研究院有限公司
增蔺 / 东北大学
Important Date

  • Conference Date

    Nov 15

    2019

    to

    Nov 18

    2019

  • Nov 01 2019

    Draft paper submission deadline

  • Nov 18 2019

    Registration deadline

Organized By
浙江大学
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