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TaCN涂层在宽温域环境下的摩擦性能研究
ID：124
View Protection：ATTENDEE
Updated Time：2020-12-09 11:29:44
Hits：1428
Oral Presentation
Start Time：2020-11-15 10:20（0）
Duration：15min
Session：G 分会场六：摩擦学表面工程论坛A »
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Abstract
氮化钽（TaN）作为一种高硬度涂层，具有优异的热稳定性、耐腐蚀性和化学稳定性。而摩擦系数较高是影响TaN涂层应用的最大限制问题，将碳元素掺入TaN涂层体系中可以有效降低摩擦系数。因此，通过磁控溅射方法沉积制备TaCN涂层，通过改变乙炔流量大小沉积制备了一批TaCN涂层。结果表明，TaCN涂层的摩擦系数相比TaN涂层得到了大幅度的降低。当氮气流量为30 sccm，乙炔气流量为30 sccm时，TaCN涂层具有非常低的摩擦系数（在0.15左右）。并且针对该性能较为优异的TaCN涂层进行高温下的实验探究，发现该TaCN涂层在室温摩擦系数可以实现低于0.2，650℃高温下摩擦系数约为0.3。
Keywords
TaCN涂层，低摩擦系数，宽温域
Speaker
李文正
中国科学院宁波材料技术与工程研究所Submission Author
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Important Date
-
Conference Date
Nov 13
2020
toNov 16
2020
-
Oct 31 2020
Early Bird Registration
-
Nov 05 2020
Draft paper submission deadline
-
Nov 16 2020
Registration deadline
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中国机械工程学会表面工程分会
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北京大学深圳研究生院
现代材料表面工程技术国家工程实验室
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