Presentation Details
N含量对TaN涂层的结构的影响及其微纳摩擦的性能
ID：134
View Protection：ATTENDEE
Updated Time：2020-12-09 11:21:29
Hits：2232
Oral Presentation
Start Time：2020-11-15 14:25（0）
Duration：15min
Session：G 分会场六：摩擦学表面工程论坛A »
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Abstract
本工作中，在磁控溅射过程中，在保持腔体气压不变的情况下，通过改变不同气流量的氮气，可以观察到对应的TaN涂层具有不同的结构，氮含量较低时，表现为体心立方的Ta金属，随着氮含量的增加，结构会转变为六方及面心立方结构，最终向非晶涂层转变。针对不同结构的TaN涂层，其机械性能也完全不同，尤其是力学性能，其硬度与模量随着结构的变化有较大的差异，其中面心立方结构的TaN具有较大的硬度与模量，而且有较好的韧性。
针对这几种不同的结构进行了微纳摩擦的测试，可以观察到面心立方结构的TaN具有较好的耐磨性能，其摩擦系数与磨损率均较低，表现出了较好的耐磨性能。
针对这几种不同的结构进行了微纳摩擦的测试，可以观察到面心立方结构的TaN具有较好的耐磨性能，其摩擦系数与磨损率均较低，表现出了较好的耐磨性能。
Keywords
结构,微纳摩擦
Speaker
朱烨彪
学生 中国科学院宁波材料技术与工程研究所Submission Author
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Important Date
-
Conference Date
Nov 13
2020
toNov 16
2020
-
Oct 31 2020
Early Bird Registration
-
Nov 05 2020
Draft paper submission deadline
-
Nov 16 2020
Registration deadline
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中国机械工程学会表面工程分会
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广东省新材料研究所
北京大学深圳研究生院
现代材料表面工程技术国家工程实验室
北京大学深圳研究生院
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