第十五届全国摩擦学大会暨全国青年摩擦学学术会议

激光冲击抛光和成形是一种利用塑性变形的方法进行抛光和成形微型制件的制造技术。首先，本文提出金属箔表面激光冲击平坦化的方法，实现了高性能低粗糙度电子铜箔的加工，铜箔表面粗糙度（Sa）由52.1 nm降低至17.2 nm，大约下降了67.0%（图1）。铜箔的压平形变机制以位错滑移为主，少量的形变孪晶作为铜箔塑性变形的补充机制。然后本文结合激光冲击成形和聚合物热压印技术，提出了用于制造高质量热压印模具的激光冲击微尺度塑性成形技术。通过研究激光冲击塑性成形的微观动力学过程和成形机理，将其分为三个变形阶段：弹性变形阶段、塑性拉伸阶段和塑性压缩阶段；通过分析激光冲击参数对微观变形动态过程各阶段的影响规律，实现了不同尺度、不同形状高精度热压印模具的激光冲击微尺度塑性成形，成形的热压印模具如图2所示。在此基础上，根据热压印模具的具体使用工况，对热压印模具进行了高温恢复实验，验证了热压印模具形状尺寸和力学性能的高温稳定性。