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氢离子注入对类石墨非晶碳膜结构和性能的影响
ID：947
View Protection：ATTENDEE
Updated Time：2023-04-01 21:20:57 Hits：569
Oral Presentation
Start Time：Pending（Asia/Shanghai）
Duration：Pending
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Abstract
离子注入能有效的调节材料表面化学结构，改善材料的性能，已广泛应用于材料表面改性研究领域。本文利用浸没式离子注入，利用脉冲高压下，对不含氢类石墨非晶碳膜进行氢离子注入。拉曼光谱分析结果表明，氢离子注入使薄膜的表层碳原子杂化结构由类石墨结构（sp2为主）向类金刚石结构（sp3为主）转变；透射电镜分析结果表明，经过氢离子注入后，其表层柱状结构转变为致密的玻璃态结构；时间分辩二次离子质谱深度分析结果表明，注入的氢离子注入主要分布在结构转变层中。此外，划痕测试和摩擦学分析结果表明，氢离子注入能显著改善薄膜的结合力和摩擦学性能。
Keywords
Speaker
小强刘
江西理工大学Submission Author
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Important Date
-
Conference Date
Apr 24
2023
toApr 27
2023
-
Mar 20 2023
Draft paper submission deadline
-
Apr 27 2023
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中国科学院兰州化学物理研究所
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