中国微米纳米技术学会第六届青年科学家论坛（重庆）

随无线通信技术的发展，对电小天线要求越来越高，但由于天线尺寸的缩小会造成阻抗匹配困难，进而影响天线辐射效率。利用机械谐振促使偶极子加减速运动产生电磁辐射的方式让天线尺寸与电磁波波长解耦，是一种天线小型化、甚至微型化的最优解决方案。然而，其中的内部激励机制和外部辐射机制尚不清晰。报告首先从材料本构方程、广义Maxwell方程组和应力分布函数出发，构建了体声波磁电(BAW ME)天线的内部能量模型和外部辐射功率模型，进而讨论了BAW ME天线的最优叠层结构设计、涡流损耗对辐射性能的影响及其抑制方式。其次基于压电、压磁效应，利用极化电流、振荡磁流作为辐射源，构建了BAW ME天线的辐射场模型，并进行了仿真验证，提出了方向图可设计的理论假设，通过该模型可以全面预测和评估天线的辐射性能。最后介绍了目前团队的软磁薄膜工艺开发情况，包括薄膜磁膜粗糙度和矫顽力的调控。

体声波，磁电，天线，能量，辐射功率，方向图，工艺