第十六届全国薄膜技术学术研讨会

105 / 2023-11-16 19:59:04

高热稳定性OTS选通管薄膜设计与器件研究

OTS,selector

目前所研究的一些OTS选通管通常由于热稳定性较低导致无法被商用，且过度依赖复杂元素甚至有毒元素As掺杂，会提高工艺复杂度或者导致元素偏析从而影响器件的性能。在本工作中，我们基于具有高速特性的GeTe基OTS材料，首先设计了基于小原子掺杂的掺杂方式，通过第一性原理计算分析了多种小原子对OTS材料局域结构<sup>[3]</sup>的影响，发现适量的小原子掺杂可以提高材料的稳定性，并进一步通过实验验证器件的热稳定性可以提升至350℃，满足集成需求。其次，我们也引入了新型的薄膜结构设计，通过界面调控以及限制性膜层结构，使薄膜整体的热稳定性得到巨大提升，从而实现了具有高热稳定性的OTS选通管。