第十六届全国薄膜技术学术研讨会

95 / 2023-11-04 10:26:47

类金刚石薄膜的结构调控与摩擦行为的理论研究

类金刚石,表界面结构调控,减摩抗磨,润滑机制

类金刚石薄膜（diamond-like carbon，简称DLC）具有高硬度、低摩擦、良好耐蚀性等功能特性，是目前金属表面防护材料领域的国际前沿课题。然而，DLC薄膜存在残余应力大、膜基结合力差、摩擦环境依赖性大等关键瓶颈，以及薄膜成分-结构-性能等设计和细节深入研究不够，基础理论弱，限制了其广泛应用。因此，我们通过理论计算和实验相结合，在DLC薄膜的结构设计、制备、表/界面结构调控、性能表征等方面，开展了系统的研究工作，主要包括：1）金属掺杂DLC薄膜的应力降低机制；（2）多元掺杂DLC薄膜的复合结构设计与构效关系；（3）DLC薄膜的表/界面结构调控及干摩擦、油润滑条件下摩擦行为理论研究。