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基于多层复合电极的高功率耐受性声表面波滤波器
ID：42 View Protection：ATTENDEE Updated Time：2021-11-24 09:06:53 Hits：839 Oral Presentation

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Duration：Pending

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Abstract
基于多层复合电极的高功率耐受性声表面波滤波器
苏荣宣 傅肃磊 潘峰 清华大学材料学院
本文采用有限元法阐明了声波传播过程中的应力分布情况，并基于底部的应力集中状态针对性设计并制备了Al-Cu/Ti/Cu/Ti、Ti/Cu/Ti/Cu/Ti等新型电极材料，通过在电极底部形成细晶粒区来提高换能器抵抗交变应力的能力。材料分析表明电极均具有强（111）织构和较高的平整度。基于复合电极的声表面波滤波器均表现出低损耗、高带外抑制的电学响应，证明电极结构的改变不会恶化器件的滤波性能。功率测试表明基于多层电极的滤波器承受功率是传统电极的接近1.7倍，且一定功率下的寿命时间可以提升10000倍。本文为5G时代高功率、小型化声表面波器件提供了一种工艺简单、成本低廉的电极材料方案。
 
Keywords
声表面波,薄膜滤波器 多层膜 仿真分析,纳米多层膜,高功率耐受性
Speaker
苏荣宣
清华大学材料学院

Submission Author
苏荣宣 清华大学材料学院
傅肃磊 清华大学材料学院
潘峰 清华大学
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Important Date

  • Conference Date

    Dec 15

    2023

    to

    Dec 17

    2023

  • Nov 30 2023

    Draft paper submission deadline

  • Mar 08 2024

    Registration deadline

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