第十六届全国薄膜技术学术研讨会

柔性电子传感器常用于测量物体作用于物体表面的物理量。随着信息社会的发展，物联网技术的不断进步，柔性电子传感器作为一类十分重要的信息采集器件，广泛应用于机器人、可穿戴电子设备、人机交互，智能蒙皮等领域，针对柔性可穿戴电子传感器的研究也成为近年来的热点。本系统采用磁控溅射镀膜实现制备柔性电子传感器，使用四电机卷绕系统实现卷绕镀膜，节省了装料卸料是时间，提高了此系统制备柔性电子薄膜的效率。同时，采用残余气体分析仪器四级质谱仪监控真空室内的气体成分，采用热电偶温度计监测真空室温度，采用磁感应厚度仪监测成膜厚度，实时调控磁控溅射镀膜的电场磁场以及卷绕机的扭矩、转速，控制良品率。此系统体积为0.76m³，以TORBOVACMAG W 600P 磁悬浮涡轮分子泵为主泵，SCROLLVAC 18 plus 干式涡旋真空泵为前级泵，达到了极限真空度1e-3Pa，工作真空度5e-2Pa，抽真空时间为31min,极大的提高了成膜的良品率与镀膜效率。
 

磁控溅射,卷绕镀膜,柔性薄膜