基于硫化锡纳米片的声表面二氧化氮气体传感器
ID:64 View Protection:ATTENDEE Updated Time:2021-11-24 09:18:16 Hits:590 Oral Presentation

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Abstract
由于声表面波(surface acoustic wave,SAW)无限无源的特性,SAW气体传感器在实时气体探测方面展示了出巨大的应用潜力。用旋涂工艺将合成的SnS2纳米片集成到基于石英基底延迟线型SAW器件上。最终制备出可在较低温度(120℃)下探测ppb级别的NO2声表面波气体传感器。传感器在最佳工作温度(120℃)下对1 ppm NO2气体达到了5.4 kHz的频率漂移,响应及恢复时间分别为10 s和236 s,其理论检测极限可达6 ppb,所制备的传感器表现出良好的选择性和稳定性。最后探讨了基于SnS2的SAW气体传感器气敏响应机理。
 
Keywords
声表面波;硫化锡;纳米片;二氧化氮;气体传感器
Speaker
周楷尧
深圳大学

Submission Author
周楷尧 深圳大学
阚皞 深圳大学
马少敏 深圳大学
罗景庭 深圳大学
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Important Date
  • Conference Date

    Dec 15

    2023

    to

    Dec 17

    2023

  • Nov 30 2023

    Draft paper submission deadline

  • Mar 08 2024

    Registration deadline

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