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聚酰亚胺表面金属薄膜图形高精度抵损伤激光刻蚀技术
ID：295 View Protection：ATTENDEE Updated Time：2023-04-11 17:18:27 Hits：2789 Oral Presentation

Start Time：2023-04-23 15:25（Asia/Shanghai）

Duration：15min

Session：Y3 第十四届全国青年表面工程论坛三 » Y3-2下午场

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Abstract
随着微电子技术的发展，采用具有较强空间环境适应性的聚酰亚胺代替硬质材料作为介质基底的柔性天线不仅可以保持天线性能稳定，而且可以卷曲与展开以节省存放空间，为人们的生活提供了便捷。为满足在柔性天线导电层上加工出高精度薄膜电路的实际需求，研究聚酰亚胺表面金属薄膜图形高精度抵损伤激光刻蚀技术，相继开展了激光对金属薄膜/聚酰亚胺复合材料体系的作用机理、激光时空特性对聚酰亚胺基底损伤的影响规律、型面误差分析及高精度激光刻蚀加工技术的研究等。实现了对金属薄膜/聚酰亚胺热物性相差很大材料体系的低损伤激光刻蚀加工（拉伸强度仅降低2.2%）；刻蚀金属薄膜图形尺寸精度优于10μm，图形相对位置精度优于±10μm。
Keywords
柔性天线,激光刻蚀,低损伤,高精度
Speaker
格桑顿珠
研究师 兰州空间技术物理研究所

Submission Author
格桑顿珠 兰州空间技术物理研究所
吴敢 兰州空间技术物理研究所
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Important Date

  • Conference Date

    Apr 21

    2023

    to

    Apr 23

    2023

  • Apr 20 2023

    Draft paper submission deadline

  • Apr 23 2023

    Registration deadline

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中国机械工程学会表面工程分会
Organized By
武汉材料保护研究所有限公司
特种表面保护材料及应用技术国家重点实验室
Supported By
中国科学院兰州化学物理研究所
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
中国科学院上海硅酸盐研究所
中国科学院金属研究所
广东省新材料研究所
大连理工大学
西安交通大学
北京科技大学
西南交通大学
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  • 段金弟（中国机械工程学会表面工程分会）
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