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多频激励MEMS电场传感器动态性能表征
ID：22 View Protection：ATTENDEE Updated Time：2025-09-11 22:27:27 Hits：436 Poster Presentation

Start Time：2025-09-20 16:20（Asia/Shanghai）

Duration：20min

Session：S8 张贴报告 » S8张贴报告

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Abstract
微机电系统（Micro-electro-mechanical Systems, MEMS）电场传感器具有体积小、重量轻、功耗低、易集成、可批量化制备等多种等优势，在航空、航天、国防、静电、雷电及石油石化等领域具有重要应用价值。传统谐振式电场敏感结构在单一模态上产生谐振，聚焦于单频激励模式下的性能表征。本文突破传统方法，提出了采用双频混叠激励信号驱动方法，研究在混频条件下传感器的动态响应特性。实验表明，在± 29.4 kV/m电场范围内，传感器线性度为1%，三阶模态灵敏度为0.054 mV/(kV/m)，分辨力为6.67 V/m·√Hz，幅频特性曲线峰值较单频激励提升了43%。
Keywords
微机电系统；电场传感器；谐振器；谐振模态；动态性能
Speaker
闻小龙
物理系副主任 北京科技大学

Submission Author
任洪运 北京科技大学
闻小龙 北京科技大学
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Important Date

  • Conference Date

    Sep 19

    2025

    to

    Sep 22

    2025

  • Sep 09 2025

    Draft paper submission deadline

  • Sep 22 2025

    Registration deadline

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