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双端固支梁谐振式高灵敏MEMS电场传感器
ID：4 View Protection：ATTENDEE Updated Time：2025-09-11 13:34:39 Hits：558 Oral Presentation

Start Time：2025-09-20 14:40（Asia/Shanghai）

Duration：20min

Session：S4 分论坛四：主题3：静电测量与仪器；主题7：摩擦纳米发电机和能量收集器；主题8：静电与微机电系统 » S4-1主题7：摩擦纳米发电机和能量收集器；主题 8：静电与微机电系统

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Abstract
MEMS电场传感器具有微型化、低功耗等优势，在大气电场测量、工业静电监测及航空航天等领域应用前景广阔。本文提出了一种基于双端固支梁谐振器的新型MEMS电场传感器。通过建立理论模型，分析了电场引起的谐振频移特性。通过有限元仿真与实验测试，揭示了其工作机制，验证了模型准确性。实验表明，该传感器的电场测量灵敏度为0.211 √Hz/(V/m)，分辨率为3.36 V/m。本研究为开发高灵敏度、高分辨率的新型MEMS电场传感器提供了新思路。
 
Keywords
微机电系统；电场传感器；双端固支梁；灵敏度；谐振频移
Speaker
李维洋
研究生 北京科技大学

Submission Author
李维洋 北京科技大学
闻小龙 北京科技大学
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Important Date

  • Conference Date

    Sep 19

    2025

    to

    Sep 22

    2025

  • Sep 09 2025

    Draft paper submission deadline

  • Sep 22 2025

    Registration deadline

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