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一种基于高精度可控电源的高速切换静电吸附技术
ID：72 View Protection：ATTENDEE Updated Time：2025-08-12 14:56:08 Hits：827 Oral Presentation

Start Time：2025-09-21 15:10（Asia/Shanghai）

Duration：20min

Session：S3 分论坛三：主题11：静电操控(颗粒、液滴、细胞)；主题4：电介质与绝缘 » S3-1主题11：静电操控(颗粒、液滴、细胞)

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Abstract
  随着半导体行业的飞速发展，在半导体工艺中静电吸取硅片已经逐渐替代了早期的机械夹持方式。本文主要介绍一种基于PID控制的高精度高压静电吸盘。该静电洗盘具备高电压精度（波动控制在 0.1% 以内）和快速响应能力，通过精确调控输出电压，实现静电吸盘吸附力的稳定与精准控制。结合智能反馈系统与PID反馈闭环调节，该静电吸盘可在毫秒级时间内完成吸附与释放操作，有效解决传统吸盘响应迟缓、吸附力不稳定的问题。在半导体制造、精密加工等应用中显著提高生产效率与加工质量。同时，通过优化电源的抗干扰设计与多物理场协同控制，该静电吸盘在复杂工况下仍能保持可靠运行，为工业自动化的高精度作业提供了创新解决方案，具有广阔的市场应用潜力。
 
Keywords
静电吸盘；PID反馈调节；高速切换；智能反馈
Speaker
孙尉翔
工程师 无锡研平电子科技有限公司

Submission Author
孙尉翔 无锡研平电子科技有限公司
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  • Conference Date

    Sep 19

    2025

    to

    Sep 22

    2025

  • Sep 09 2025

    Draft paper submission deadline

  • Sep 22 2025

    Registration deadline

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