中国物理学会第二十七届全国静电学术年会

摘要：直接接触的方式是人体静电电位测量以及静电释放的常见方法，但是常规的人体静电释放仪存在接触部分为导体材质，释放电阻小，瞬时释放能量很高；或者静电电位测量存在很大的不确定性的问题。为了准确测量人体静电电位并安全释放人体静电，本文提出和设计了一种基于电容分压测量的本安型人体静电释放仪，并通过人体带电试验，验证了测量结果的准确性。本仪器功能实现的核心在于：1）人体直接接触静电亚导体有效延长人体静电释放时间，降低人体静电瞬间释放能量，提高静电防护的可行性；2）采用同心球型电容器和软件算法控制模拟多路复用器切换分压电容的方式变换分压比，实现多量程测量和量程自动切换；3）设计闭环电压采样保持电路，输入缓冲器确保高输入阻抗，隔离信号源与开关，减少采样瞬态对前级影响；差分结构的CMOS开关减小沟道电荷注入效应和共模噪声引起的误差；保持电容选取聚丙烯（CBB）材质并连接至电压跟随器输入端减少漏电流；超低输入偏置电流、高压摆率和高稳定性的电压跟随器最大限度降低信号保持阶段的电压下垂率。

关键词：直接接触式；人体静电电位；本安型人体静电释放仪；电容分压测量；闭环电压采样保持电路

 

直接接触式；人体静电电位；本安型人体静电释放仪；电容分压测量；闭环电压采样保持电路