Presentation Details
DBD等离子体清洗技术应用研究
ID：87
View Protection：ATTENDEE
Updated Time：2025-09-11 22:26:44
Hits：493
Poster Presentation
Start Time：2025-09-20 14:00（Asia/Shanghai）
Duration：20min
Session：S8 张贴报告 »
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Abstract
随着半导体制造工艺中对洁净性能要求越来越高，等离子体清洗技术得到了广泛的应用。等离子体清洗技术具有工艺高效、无残留、环保的优点，DBD等离子体清洗技术因大面积稳定放电优势，应用于半导体元器件的清洗。本文基于国内外相关研究，对等离子体清洗技术原理、清洗机理进行解读，为半导体制造工艺过程中的DBD等离子体清洗装置设计提供参考。
Keywords
半导体 DBD等离子体清洗 工程应用 放电模式
Speaker
SunYurong
工程师 苏州天华新能源科技股份有限公司Submission Author
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Important Date
-
Conference Date
Sep 19
2025
toSep 22
2025
-
Sep 09 2025
Draft paper submission deadline
-
Sep 22 2025
Registration deadline
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中国物理学会静电专业委员会
Organized By
南京信息工程大学
电磁环境效应国家级重点实验室
无锡研平电子科技有限公司
电磁环境效应国家级重点实验室
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- 范文晓
- fa******@nuist.edu.cn
- 187********
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