Presentation Details
测量无基底效应薄膜材料的杨氏模量
ID：1412
View Protection：ATTENDEE
Updated Time：2026-04-24 19:42:31
Hits：128
Oral Presentation
Start Time：2026-04-28 11:30（Asia/Shanghai）
Duration：10min
Session：B 薄膜科技论坛 »
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Abstract
利用KLA纳米压痕仪的连续刚度测量技术结合Hay-Crawford模型对压痕载荷-深度曲线进行解析，可用获得没有基底效应薄膜材料的杨氏模量，借助有限元分析分别对膜、基材料的模量十倍范围内不同深度的分析验证，在压入深度30%的膜厚范围内都可以获取薄膜的本征杨氏模量，该方法避免了传统模型分析中基底效应对薄膜模量测量的影响，为薄膜力学性能的准确评价提供了有效手段。
Keywords
Speaker
谢存毅
博士 KLA InstrumentsAll Comments
Important Date
-
Conference Date
Aug 10
2026
toAug 12
2026
-
Apr 26 2026
Draft paper submission deadline
-
Apr 28 2026
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中国科学院兰州化学物理研究所 润滑材料全国重点实验室
中国航天科技集团兰州空间技术物理研究所
甘肃省化学会
甘肃省材料学会
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